一块普通的玻璃材料，只要镀上相应的靶材，就能变成手机触摸屏、太阳能集热板或液晶显示器，起到增透减反的效果，产品价值随之提升数十倍。靶材的应用广泛，光伏电池、平板显示器、大规模集成电路、微电子器件及装饰涂层等产业都离不开它。

靶材是制备薄膜的主要材料之一，通过更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。主要应用于集成电路、平板显示、太阳能电池、记录媒体、智能玻璃等，对材料纯度和稳定性要求高。

【靶材的主要分类】

应用领域半导体、显示、光伏、存储器、装饰涂层…

制备技术

从工艺的难易程度来看，超高纯金属提纯技术、晶粒晶向控制技术、异种金属大面积焊接技术、金属的精密加工及特殊处理技术、靶材的清洗包装技术是目前靶材生产过程中的五大核心技术。
1、金属提纯：减少靶材杂质，提高材料导电性能，使互联线不易短路或断路。
2、晶向控制：使各晶粒的大小和排列方向相同，保证溅射成膜的均匀性和溅射速度。
3、异种金属焊接：连接靶胚和背板，起到靶材的固定作用。
4、加工及处理：利用精密机台使靶材的尺寸和形状与要镀膜的基片匹配。
5、清洗包装：使靶材洁净程度满足生产要求。

行业发展目标

《新材料产业发展指南》明确提出，要突破新一代信息技术产业用材料，加强大尺寸硅材料、大尺寸碳化硅单晶、高纯金属及合金溅射靶材生产技术研发，加快高纯特种电子气体研发及产业化，解决极大规模集成电路材料制约。

市场规模预测

据赛瑞研究预测，到 2020 年全球高纯溅射靶材市场规模将超过 200 亿美元。

应用案例

半导体用超高纯金属溅射靶材：高纯铝以及铝合金靶材、高纯钛靶材、高纯铜以及铜合金靶材、高纯钽以及钽合金靶材、特殊金属靶材…

液晶平板显示器用高纯金属溅射靶材：G4.5、G5、G5.5、G6 以及 G8.5 代高纯铝、铜、钼靶材…

太阳能用高纯金属溅射靶材：高纯铝、铜、钨钛、镍钒、铬以及钼等靶材…